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EFEM(Equipment Front End Module)半導(dǎo)體設(shè)備前端模塊,是連接物料搬運(yùn)系統(tǒng)和硅片處理系統(tǒng)的橋梁。
作為半導(dǎo)體制程/檢測設(shè)備中必不可少的關(guān)鍵組成部分,EFEM主要負(fù)責(zé)在高潔凈環(huán)境下,將單片晶圓通過精密機(jī)械手傳輸至工藝、檢測模塊。這一過程中,任何微小的塵?;蛭廴径伎赡軐A造成不可逆的損害。因此,EFEM設(shè)備不僅要具備高度的可靠性和穩(wěn)定性,還要能夠適應(yīng)各種復(fù)雜的工業(yè)環(huán)境。
樺漢科技嵌入式無風(fēng)扇工控機(jī)以其獨(dú)特的特性和優(yōu)勢,為EFEM的高效、穩(wěn)定運(yùn)行提供了有力支持。與傳統(tǒng)工業(yè)計算機(jī)相比,樺漢無風(fēng)扇工控機(jī)采用了更為緊湊的設(shè)計,不僅減少了占地面積,還避免了因風(fēng)扇轉(zhuǎn)動而產(chǎn)生的塵埃和噪音。
無風(fēng)扇BOX,7*24H穩(wěn)定工作
8個RS232
2 個千兆網(wǎng)口,LAN需Intel芯片,支持EtherCat總線
4 x USB
24V寬壓輸入
基于客戶需求,樺漢推薦適用于工業(yè)自動化、機(jī)器視覺、設(shè)備檢測、智能制造等領(lǐng)域的嵌入式無風(fēng)扇工控機(jī)CES-EH42-D2A0作為解決方案。
機(jī)箱內(nèi)部24V 開關(guān)電源給工控機(jī)供電;
HDMI高清顯示接口, 實(shí)時顯示采集、檢測數(shù)據(jù);
EFEM有3個進(jìn)料盒,當(dāng)上游晶圓硅片到每個進(jìn)料盒時,通過機(jī)器上COM口接的掃描儀掃描盒子里的每片晶片,同步通過COM口上的讀碼器讀取晶片信息;
通過LAN1口接機(jī)械手臂控制器,EtherCat總線控制,當(dāng)進(jìn)料盒進(jìn)料后,控制機(jī)械手臂傳送晶片;通過LAN2接工業(yè)相機(jī),時時監(jiān)測晶片狀態(tài)信息;
當(dāng)機(jī)械手臂傳送晶片時,工控機(jī)通過COM7控制風(fēng)機(jī)設(shè)備吹離子棒釋放離子,中和空氣中離子平和度,保持空氣潔凈度,同時通過COM8接壓差儀,監(jiān)測環(huán)境中離子濃度、氣壓狀態(tài),保證晶片在傳送過程中的潔凈度,使晶片潔凈、無污染的送到劃片制程端。
CES-EH42-D2A0采用Core ? i /Celeron?處理器,搭載H420E芯片組,為不同應(yīng)用場景提供了出色的計算能力和能效比。
產(chǎn)品支持雙通道DDR4 2666/2933 MHz內(nèi)存,最大支持64GB,能夠輕松處理大量數(shù)據(jù)和多任務(wù)應(yīng)用。
CES-EH42-D2A0配備了1 x Mini-PCIe、1 x M.2 2230 wifi卡槽及1 x M.2 2242擴(kuò)展槽,可提供靈活的擴(kuò)展選項(xiàng),無論是添加無線通信功能還是安裝其他功能卡,都能輕松實(shí)現(xiàn)。
此外,產(chǎn)品還支持2個或4個千兆網(wǎng)口,確保數(shù)據(jù)傳輸穩(wěn)定無延遲,提供更加可靠的網(wǎng)絡(luò)環(huán)境。
支持VGA和HDMI異步雙顯,能夠同時連接兩種不同類型的顯示器,滿足多樣化的顯示需求。
復(fù)位開關(guān)和2PIN遠(yuǎn)程開關(guān)的設(shè)計,則確保了在遇到運(yùn)行問題時能夠快速重啟或遠(yuǎn)程啟動設(shè)備,為產(chǎn)線作業(yè)提供了極大的便利。
與CES-EH42-D2A0具備相同出色性能的CES-EQ47/EH42-DXXX系列嵌入式無風(fēng)扇工業(yè)電腦,采用Core ? i /Celeron?系列LGA1200處理器,搭載H420E/Q470E芯片組,性能穩(wěn)定且擴(kuò)展選項(xiàng)豐富。標(biāo)準(zhǔn)19-24V DC電源輸入,保證了產(chǎn)品的穩(wěn)定運(yùn)行和廣泛適用性。
此外,樺漢科技同步推出的6代CES-EH11-D3A0,搭載H110 芯片組,支持3 xLAN,10 x COM以及6 x USB接口,專為各種工業(yè)應(yīng)用場景打造。
產(chǎn)品配備了Intel千兆網(wǎng)口,數(shù)據(jù)傳輸穩(wěn)定可靠,低延遲特性使其成為需要高速、穩(wěn)定網(wǎng)絡(luò)通信的工業(yè)應(yīng)用理想選擇。同時,USB 3.0接口可提供超高速數(shù)據(jù)傳輸速度,確保視頻傳輸和圖像處理的流暢性和穩(wěn)定性。
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